该晶圆营造厂建在华东地域地域,重点生育加工8寸大光电器件晶圆,日访问量化工废水废气排股票放量约800吨。可能生育加工工作中使用的海量盐酸开始晶圆蚀刻,引起化工废水下氟化物浓硫酸浓度到达200-300mg/L,远超地区废气排卸标(10mg/L如下)。
废液化学成分及由来
生产废水主要来源五个的环节:
晶圆蚀刻工艺流程
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、硝酸铵及一点血本属
化学上的机打磨抛光(CMP)焦化废水
:含纳米级级硅颗粒状、有机质络合剂
机进行维护清洁污废水
:含异丙醇、氧化还原电位等充分物
整理工艺环节环节
所采用"化学反应析出自己+混疑析出自己+深度的过滤装置"三级视频操作体统:
一級整理
:污泥脱水氯化钙和氢脱色钙,成型氟化钙水解,氟化物清除率达85%
三级外理
:生成PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚丙酰胺),删去氢氧化铁态水污物
三级视频加工处理
:使用多媒质过滤程序器和灵活性碳物理吸附,留水氟化物酸度稳固在8mg/L下
重中之重机收录:pH自動调试机系统、斜管凝固池、板框压滤机厂家(工业废水脱水过滤)。
进而视觉效果
工作运作2年评估数据信息信息显示:
氟化物平均值渗透压:7.2mg/L(不超过国内标准)
COD弄掉率:92%
污水含水分率:≤65%
年回收公司氟化钙副车辆约150吨,变现能源化充分利用