该厂为8寸大晶圆产出线模块化的超去离子水模式，每一天制造含硅废气150吨。废气中虽无天价属，但硅占比高易积灰，且内阻率需做到18MΩ·cm可以回收利用。原本的处置技艺无非满意新颁布法律的《光电子工业品水水污染源减排的标准》（GB39731-2020）很大减排允许值。 生活污水物质优势 核心环境有害物质 ：悬浊液硅（200-300mg/L）、粒子硅（粒级0.1-1μm） 个性化追求 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水体质量功能 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅单质社会形态繁琐 整理工艺技术方案 创新发展利用"梯级膜剥离+电去正离子"结构技艺： 微滤预备处理 ：1μm陶瓷图片膜屏蔽短信大颗粒状硅，通量达到80LMH 阴离子互转环氧树脂 ：D201大孔硅橡胶会保护性吸附物硅酸原子核 二级考试RO操作系统 ：第1段回笼率60%，第一段适用高脱硼膜构件 EDI电去正离子 ：电流量比热容2A/m²，延续快速清理残渣铁离子 UV紫外线臭氧消毒 ：254nm紫外线标准容量40mJ/cm² 技术设备成效 发掘专业化阻硅剂（有机化学胺类分手后复合物），抑制膜造成的污染周期性3倍 EDI功能科学创新流道制作，硅清除率升降至99.8% 手机在线硅研究仪（检测的范围之内0.1-500μg/L）做到精准定位把控好 加载认真总结 经最后方监测： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含铁从8μg/L下降0.3μg/L 软件系统收购率从原40%提高了至68% 膜拆换时间延缓至5年，年启动料工费调低35%