某半导体行业集成块研制厂在晶圆精加工全过程中,运用硅烷去硅外加种植,空气洗滌塔存在高浓度含硅焦化废水治理 。焦化废水治理 有着pH冲击大(2-11)、硅浓度高的基本特征,传统意义治理 措施易存在硅垢堵塞了的问题。
污水物质及种类
废水处理通常有效成分为:
溶解完性硅酸盐
:SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L
氢脱色钠/氢脱色钠
:洗滌塔耐酸碱洗滌液残存
科粒硅
:微米级SiO₂固体
痕量砷
:主要原料沉淀物进入
清理工艺设备环节
去创新所采用"多级与+膜滤出+蒸发掉沉淀"工艺设计:
1阶段中合
:用CaO的调节pH至4-5,转成硅酸钙沉定,硅删去率60%。
二次元与
:加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进三步悠长岁月中余下硅,串联用镁剂除砷。
超滤膜程序
:0.02μm陶瓷厂家膜脱水微米级硅小粒,通量增强在80LMH。
MVR空调冷凝器器
:精提高盐废水处理工艺,析出出Na₂SO₄副产设备,水中水回用率超90%。
从而特效
总硅从1500mg/L降落到5mg/L下列
砷含氧量从0.8mg/L降为0.01mg/L
系統无水垢工作超过了2年
第年出售硫酸钠钠晶胞约800吨