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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体行业集成块研制厂在晶圆精加工全过程中,运用硅烷去硅外加种植,空气洗滌塔存在高浓度含硅焦化废水治理 。焦化废水治理 有着pH冲击大(2-11)、硅浓度高的基本特征,传统意义治理 措施易存在硅垢堵塞了的问题。 污水物质及种类 废水处理通常有效成分为: 溶解完性硅酸盐 :SiO₂浓硫酸浓度达1000-1500mg/L 氢脱色钠/氢脱色钠 :洗滌塔耐酸碱洗滌液残存 科粒硅 :微米级SiO₂固体 痕量砷 :主要原料沉淀物进入 清理工艺设备环节 去创新所采用"多级与+膜滤出+蒸发掉沉淀"工艺设计: 1阶段中合 :用CaO的调节pH至4-5,转成硅酸钙沉定,硅删去率60%。 二次元与 :加Na₂CO₃将pH大幅提升至9,进三步悠长岁月中余下硅,串联用镁剂除砷。 超滤膜程序 :0.02μm陶瓷厂家膜脱水微米级硅小粒,通量增强在80LMH。 MVR空调冷凝器器 :精提高盐废水处理工艺,析出出Na₂SO₄副产设备,水中水回用率超90%。 从而特效 总硅从1500mg/L降落到5mg/L下列 砷含氧量从0.8mg/L降为0.01mg/L 系統无水垢工作超过了2年 第年出售硫酸钠钠晶胞约800吨

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